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  • C型架构产品满足中等量产需要，单位？槲芌obot设计，Coater/Developer/AD/HP/CP等单位灵活组合，可选辅助功效配件实现差别工艺生产需求，满足半导体前道/高端封装/MEMS/LED等差别工艺生产的客户
 
　　C型架构产品满足中等量产需要，单位？槲芌obot设计，Coater/Developer/AD/HP/CP等单位灵活组合，可选辅助功效配件实现差别工艺生产需求，满足半导体前道/高端封装/MEMS/LED等差别工艺生产的客户需求。
 
　　. 适用于6英寸，8英寸或12英寸产品。
 
　　. 基材：硅晶圆，玻璃，蓝宝石片，砷化镓等（柔性基材需要特殊定制）。
 
　　. 适用于Krf，i-line，etc产品生产。
 
　　. 适用于Package，PI，SOD，etc产品生产。
 
　　. ？榛牡ノ槐阌谖。
 
　　. 图形化的人机交互界面。
 
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