装备由于是在一个侵蚀的情形,湿法去胶洗濯机的排风方法,台面下抽风,每套工艺洗濯槽都有,自动开闭的槽盖,槽盖下有单独的抽风装置。
装备结构外型,整机主要由机架、工艺槽体、机械手传输系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。.
由于工艺槽内药液侵蚀性强,装备需要做防腐处置惩罚:
(1) 装备机架接纳钢结构骨架包塑;
(2) 壳体接纳镜面SUS316L不锈钢焊接,制程区由耐侵蚀的SUS316L板材组合焊接而成:
(3) 电气区设置在装备后上部,与湿区和管路区完全隔离;
(4) 槽体质料选用耐响应溶液侵蚀的质料;
(5) 机械手探人湿区部分的零部件外貌喷氟或套PFA管处置惩罚。
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